福建师范大学学报（自然科学版）
福建師範大學學報（自然科學版）
복건사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF FUJIAN TEACHERS UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE EDITION)
2012年
5期
52-57
,共6页
林建平%吴杨微%关贵清%黄光彩%赖发春
林建平%吳楊微%關貴清%黃光綵%賴髮春
림건평%오양미%관귀청%황광채%뢰발춘
磁控溅射%铬薄膜%溅射功率%工作气压%光电学性质
磁控濺射%鉻薄膜%濺射功率%工作氣壓%光電學性質
자공천사%락박막%천사공솔%공작기압%광전학성질
采用直流磁控溅射方法在石英基片上沉积铬薄膜.研究溅射功率、工作气压对铬薄膜结构、电学和光学性质的影响.利用X射线衍射仪、分光光度计和Van der Pauw方法分别检测薄膜的结构、光学和电学特性,利用德鲁特模型和薄膜的透射、反射光谱计算薄膜的厚度和光学常数.结果表明:制备的铬薄膜为体心立方的多晶态；在工作气压0.6Pa一定时,随着溅射功率从40 W增加到120W,沉积速率呈非线性增加,薄膜更加致密,电阻率连续降低,在550 nm波长处,薄膜的折射率从3.52增大到功率80 W时的最大值(3.88),尔后逐渐减小至3.69；消光系数从1.50逐渐增大到2.20；在溅射功率80 W一定时,随着工作气压从0.4 Pa增加到1.2Pa,沉积速率呈近线性降低,薄膜的电阻率逐渐变大,在550 nm波长处,折射率从3.88减小到3.62,消光系数从2.55减小到1.48.
採用直流磁控濺射方法在石英基片上沉積鉻薄膜.研究濺射功率、工作氣壓對鉻薄膜結構、電學和光學性質的影響.利用X射線衍射儀、分光光度計和Van der Pauw方法分彆檢測薄膜的結構、光學和電學特性,利用德魯特模型和薄膜的透射、反射光譜計算薄膜的厚度和光學常數.結果錶明:製備的鉻薄膜為體心立方的多晶態；在工作氣壓0.6Pa一定時,隨著濺射功率從40 W增加到120W,沉積速率呈非線性增加,薄膜更加緻密,電阻率連續降低,在550 nm波長處,薄膜的摺射率從3.52增大到功率80 W時的最大值(3.88),爾後逐漸減小至3.69；消光繫數從1.50逐漸增大到2.20；在濺射功率80 W一定時,隨著工作氣壓從0.4 Pa增加到1.2Pa,沉積速率呈近線性降低,薄膜的電阻率逐漸變大,在550 nm波長處,摺射率從3.88減小到3.62,消光繫數從2.55減小到1.48.
채용직류자공천사방법재석영기편상침적락박막.연구천사공솔、공작기압대락박막결구、전학화광학성질적영향.이용X사선연사의、분광광도계화Van der Pauw방법분별검측박막적결구、광학화전학특성,이용덕로특모형화박막적투사、반사광보계산박막적후도화광학상수.결과표명:제비적락박막위체심립방적다정태；재공작기압0.6Pa일정시,수착천사공솔종40 W증가도120W,침적속솔정비선성증가,박막경가치밀,전조솔련속강저,재550 nm파장처,박막적절사솔종3.52증대도공솔80 W시적최대치(3.88),이후축점감소지3.69；소광계수종1.50축점증대도2.20；재천사공솔80 W일정시,수착공작기압종0.4 Pa증가도1.2Pa,침적속솔정근선성강저,박막적전조솔축점변대,재550 nm파장처,절사솔종3.88감소도3.62,소광계수종2.55감소도1.48.
