真空
真空
진공
VACUUM
2001年
6期
23-25
,共3页
ZnO%MOCVD%等离子体%薄膜
ZnO%MOCVD%等離子體%薄膜
ZnO%MOCVD%등리자체%박막
一种新型的MOCVD(Mettalic Organism CVD)装置,既金属有机化合物CVD沉积装置.该装置具有结构简单,在低温、低压条件下能够实现化学气相沉积反应.气路系统全部采用进口零部件,保证反应气体的纯度.等离子体在反应过程中起到辅助和掺杂的作用.经实验表明该装置能够较好地完成氧化锌薄膜的研究工作,也可为进一步的研究提供必要的条件.
一種新型的MOCVD(Mettalic Organism CVD)裝置,既金屬有機化閤物CVD沉積裝置.該裝置具有結構簡單,在低溫、低壓條件下能夠實現化學氣相沉積反應.氣路繫統全部採用進口零部件,保證反應氣體的純度.等離子體在反應過程中起到輔助和摻雜的作用.經實驗錶明該裝置能夠較好地完成氧化鋅薄膜的研究工作,也可為進一步的研究提供必要的條件.
일충신형적MOCVD(Mettalic Organism CVD)장치,기금속유궤화합물CVD침적장치.해장치구유결구간단,재저온、저압조건하능구실현화학기상침적반응.기로계통전부채용진구령부건,보증반응기체적순도.등리자체재반응과정중기도보조화참잡적작용.경실험표명해장치능구교호지완성양화자박막적연구공작,야가위진일보적연구제공필요적조건.
