真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
5期
363-367
,共5页
杨勇%赵来%陈旭%查良镇%许生%范垂祯
楊勇%趙來%陳旭%查良鎮%許生%範垂禎
양용%조래%진욱%사량진%허생%범수정
中频反应溅射%二氧化钛%模拟%滞回曲线
中頻反應濺射%二氧化鈦%模擬%滯迴麯線
중빈반응천사%이양화태%모의%체회곡선
中频反应溅射沉积二氧化钛膜难于控制的主要原因是钛靶的强金属性,使滞回曲线(hysterrisis curve)过渡区临界.实验结果表明,钛靶电压随氧气流量在非平行的过渡区作非单调的变化.建立在化学吸附模型基础上的模拟结果与实测的滞回曲线基本吻合,并可预期功率对靶电压及过渡区位置的影响.模拟进一步考虑到离子注入的影响,计算结果表明,金属态靶电位的波动是由于反应气体离子的注入和反应气体分子化学吸附之间的相互竞争,从而解释了靶电压在过渡态之间出现升高的实验现象.
中頻反應濺射沉積二氧化鈦膜難于控製的主要原因是鈦靶的彊金屬性,使滯迴麯線(hysterrisis curve)過渡區臨界.實驗結果錶明,鈦靶電壓隨氧氣流量在非平行的過渡區作非單調的變化.建立在化學吸附模型基礎上的模擬結果與實測的滯迴麯線基本吻閤,併可預期功率對靶電壓及過渡區位置的影響.模擬進一步攷慮到離子註入的影響,計算結果錶明,金屬態靶電位的波動是由于反應氣體離子的註入和反應氣體分子化學吸附之間的相互競爭,從而解釋瞭靶電壓在過渡態之間齣現升高的實驗現象.
중빈반응천사침적이양화태막난우공제적주요원인시태파적강금속성,사체회곡선(hysterrisis curve)과도구림계.실험결과표명,태파전압수양기류량재비평행적과도구작비단조적변화.건립재화학흡부모형기출상적모의결과여실측적체회곡선기본문합,병가예기공솔대파전압급과도구위치적영향.모의진일보고필도리자주입적영향,계산결과표명,금속태파전위적파동시유우반응기체리자적주입화반응기체분자화학흡부지간적상호경쟁,종이해석료파전압재과도태지간출현승고적실험현상.
