工具技术
工具技術
공구기술
TOOL ENGINEERING
2008年
3期
69-71
,共3页
含金属C薄膜%ECR溅射镀膜%磁控溅射%石墨靶
含金屬C薄膜%ECR濺射鍍膜%磁控濺射%石墨靶
함금속C박막%ECR천사도막%자공천사%석묵파
介绍了新型的结合电子回旋共振(ECR)微波等离子体气相沉积与磁控溅射镀膜特点的ECR-650型镀膜系统,并利用该系统通过溅射石墨靶和金属钛靶在不锈钢基底上制备了具有Ti/TiNx/TiNxCy中间层结构的C薄膜.由于镀膜工艺问题,得到的薄膜主要由石墨构成.研究了制备时不同的气压和氩气分压对薄膜表面形貌、硬度等的影响.
介紹瞭新型的結閤電子迴鏇共振(ECR)微波等離子體氣相沉積與磁控濺射鍍膜特點的ECR-650型鍍膜繫統,併利用該繫統通過濺射石墨靶和金屬鈦靶在不鏽鋼基底上製備瞭具有Ti/TiNx/TiNxCy中間層結構的C薄膜.由于鍍膜工藝問題,得到的薄膜主要由石墨構成.研究瞭製備時不同的氣壓和氬氣分壓對薄膜錶麵形貌、硬度等的影響.
개소료신형적결합전자회선공진(ECR)미파등리자체기상침적여자공천사도막특점적ECR-650형도막계통,병이용해계통통과천사석묵파화금속태파재불수강기저상제비료구유Ti/TiNx/TiNxCy중간층결구적C박막.유우도막공예문제,득도적박막주요유석묵구성.연구료제비시불동적기압화아기분압대박막표면형모、경도등적영향.
