机械设计与研究
機械設計與研究
궤계설계여연구
MACHINE DESIGN AND RESEARCH
2008年
2期
50-53
,共4页
贾冠华%尚德广%孙国芹%刘豪%马新平
賈冠華%尚德廣%孫國芹%劉豪%馬新平
가관화%상덕엄%손국근%류호%마신평
MEMS%扭转疲劳%有限元分析%吸附电压%耦合场分析
MEMS%扭轉疲勞%有限元分析%吸附電壓%耦閤場分析
MEMS%뉴전피로%유한원분석%흡부전압%우합장분석
设计了一种平行板电容驱动MEMS扭转疲劳试验装置.通过理论分析和有限元分析两种方法去预测该装置的吸附电压,并将所得结果进行对比,证明两种方法具有一致性.最后通过对比试验结果与理论计算结果证实了该理论分析方法的有效性.同时也就证实了有限元分析方法的有效性.通过有限元分析得到的疲劳试样应力分布情况表明该装置可以达到MEMS疲劳测试所要求的应力水平.
設計瞭一種平行闆電容驅動MEMS扭轉疲勞試驗裝置.通過理論分析和有限元分析兩種方法去預測該裝置的吸附電壓,併將所得結果進行對比,證明兩種方法具有一緻性.最後通過對比試驗結果與理論計算結果證實瞭該理論分析方法的有效性.同時也就證實瞭有限元分析方法的有效性.通過有限元分析得到的疲勞試樣應力分佈情況錶明該裝置可以達到MEMS疲勞測試所要求的應力水平.
설계료일충평행판전용구동MEMS뉴전피로시험장치.통과이론분석화유한원분석량충방법거예측해장치적흡부전압,병장소득결과진행대비,증명량충방법구유일치성.최후통과대비시험결과여이론계산결과증실료해이론분석방법적유효성.동시야취증실료유한원분석방법적유효성.통과유한원분석득도적피로시양응력분포정황표명해장치가이체도MEMS피로측시소요구적응력수평.
