电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2009年
2期
48-50
,共3页
冯书谊%周勇%周志敏%向毅
馮書誼%週勇%週誌敏%嚮毅
풍서의%주용%주지민%향의
平面磁芯螺旋结构微电感%MEMS技术%电感量%品质因数
平麵磁芯螺鏇結構微電感%MEMS技術%電感量%品質因數
평면자심라선결구미전감%MEMS기술%전감량%품질인수
采用MEMS技术(包括光刻、电镀、反应离子刻蚀和机械抛光等)研制了平面磁芯螺旋结构微电感,磁芯材料为铁基纳米晶带材.其中线圈匝数为18匝,线圈导体的宽度和间隙均为30 μm,厚度为20 μm;电感的尺寸为3 mm×3 mm.测试结果表明:在频率为1～10 MHz时,电感量和品质因数分别为3.2～1.2 μH和2.3～1.1;在1 MHz下,电感量和品质因数分别为3.2 μH和2.3,可应用于微型化DC/DC变换器.
採用MEMS技術(包括光刻、電鍍、反應離子刻蝕和機械拋光等)研製瞭平麵磁芯螺鏇結構微電感,磁芯材料為鐵基納米晶帶材.其中線圈匝數為18匝,線圈導體的寬度和間隙均為30 μm,厚度為20 μm;電感的呎吋為3 mm×3 mm.測試結果錶明:在頻率為1～10 MHz時,電感量和品質因數分彆為3.2～1.2 μH和2.3～1.1;在1 MHz下,電感量和品質因數分彆為3.2 μH和2.3,可應用于微型化DC/DC變換器.
채용MEMS기술(포괄광각、전도、반응리자각식화궤계포광등)연제료평면자심라선결구미전감,자심재료위철기납미정대재.기중선권잡수위18잡,선권도체적관도화간극균위30 μm,후도위20 μm;전감적척촌위3 mm×3 mm.측시결과표명:재빈솔위1～10 MHz시,전감량화품질인수분별위3.2～1.2 μH화2.3～1.1;재1 MHz하,전감량화품질인수분별위3.2 μH화2.3,가응용우미형화DC/DC변환기.
