稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2008年
z1期
477-480
,共4页
唐利强%刘军%陈志刚%吴燕杰
唐利彊%劉軍%陳誌剛%吳燕傑
당리강%류군%진지강%오연걸
CNx薄膜%硬质合金%X光电子能谱%摩擦性能
CNx薄膜%硬質閤金%X光電子能譜%摩抆性能
CNx박막%경질합금%X광전자능보%마찰성능
采用射频反应磁控溅射法在硬质合金衬底上沉积了CNx薄膜和CNx/TIN复合薄膜.薄膜的结构和元素成分用傅里叶变换红外光谱(FTIR)和X射线光电子能谱(XPS)测试.红外吸收光谱说明薄膜中碳、氮原子结合成的化学键有C-N,C=N和CIN,另外还存在少量的N-H和C-H键;X射线光电子能谱分析证明沉积中间层Tin的样品结合能位移增大,其中氮碳原子成键多,从而提高了样品的耐磨性能.
採用射頻反應磁控濺射法在硬質閤金襯底上沉積瞭CNx薄膜和CNx/TIN複閤薄膜.薄膜的結構和元素成分用傅裏葉變換紅外光譜(FTIR)和X射線光電子能譜(XPS)測試.紅外吸收光譜說明薄膜中碳、氮原子結閤成的化學鍵有C-N,C=N和CIN,另外還存在少量的N-H和C-H鍵;X射線光電子能譜分析證明沉積中間層Tin的樣品結閤能位移增大,其中氮碳原子成鍵多,從而提高瞭樣品的耐磨性能.
채용사빈반응자공천사법재경질합금츤저상침적료CNx박막화CNx/TIN복합박막.박막적결구화원소성분용부리협변환홍외광보(FTIR)화X사선광전자능보(XPS)측시.홍외흡수광보설명박막중탄、담원자결합성적화학건유C-N,C=N화CIN,령외환존재소량적N-H화C-H건;X사선광전자능보분석증명침적중간층Tin적양품결합능위이증대,기중담탄원자성건다,종이제고료양품적내마성능.
