浙江理工大学学报
浙江理工大學學報
절강리공대학학보
JOURNAL OF ZHEJIANG SCI-TECH UNIVERSITY
2011年
4期
567-570
,共4页
杨成林%梁萍兰%问明亮%席珍强
楊成林%樑萍蘭%問明亮%席珍彊
양성림%량평란%문명량%석진강
过氧化氢%锗%氧化物%少子寿命%XPS
過氧化氫%鍺%氧化物%少子壽命%XPS
과양화경%타%양화물%소자수명%XPS
为了提高(111)锗片表面少子寿命,分别采用体积分数30％过氧化氢和硝酸作为氧化剂,对试样表面进行湿化学氧化,得到表面的氧化层.利用微波光电导衰减仪测量试样在氧化反应前后的少子寿命变化情况,采用X射线光电子能谱测试样的Ge3d谱图,并进行机理分析.结果发现:经过过氧化氢处理的试样少子寿命得到很大提高,分析是由于GeO2钝化了锗表面悬挂键而达到了钝化效果.
為瞭提高(111)鍺片錶麵少子壽命,分彆採用體積分數30％過氧化氫和硝痠作為氧化劑,對試樣錶麵進行濕化學氧化,得到錶麵的氧化層.利用微波光電導衰減儀測量試樣在氧化反應前後的少子壽命變化情況,採用X射線光電子能譜測試樣的Ge3d譜圖,併進行機理分析.結果髮現:經過過氧化氫處理的試樣少子壽命得到很大提高,分析是由于GeO2鈍化瞭鍺錶麵懸掛鍵而達到瞭鈍化效果.
위료제고(111)타편표면소자수명,분별채용체적분수30％과양화경화초산작위양화제,대시양표면진행습화학양화,득도표면적양화층.이용미파광전도쇠감의측량시양재양화반응전후적소자수명변화정황,채용X사선광전자능보측시양적Ge3d보도,병진행궤리분석.결과발현:경과과양화경처리적시양소자수명득도흔대제고,분석시유우GeO2둔화료타표면현괘건이체도료둔화효과.
