天津师范大学学报（自然科学版）
天津師範大學學報（自然科學版）
천진사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF TIANJIN NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2012年
2期
41-45
,共5页
佟莉娜%黄美东%孟凡宇%刘野%许世鹏%薛利
佟莉娜%黃美東%孟凡宇%劉野%許世鵬%薛利
동리나%황미동%맹범우%류야%허세붕%설리
电弧离子镀%TiN薄膜%偏压%机械性能
電弧離子鍍%TiN薄膜%偏壓%機械性能
전호리자도%TiN박막%편압%궤계성능
采用SA - 6T电弧离子镀设备在抛光后的W18Cr4V高速钢表面沉积TiN薄膜,在其他参数不变的情况下,考察偏压对薄膜结构和机械性能的影响.通过扫描电镜观察了TiN薄膜的表面形貌,采用X射线衍射仪对结构进行物相分析,利用XP-2台阶仪测试了薄膜的厚度,并用纳米压痕仪和多功能表面测试仪分别对薄膜的硬度和膜基结合力进行测量.结果表明:随着负偏压的增加,具有面心立方结构的TiN薄膜沿(111)密排面的择优生长明显加强；薄膜厚度(沉积速率)呈现先增大后减小的趋势,在负偏压为100 V时达到最大;薄膜综合力学性能在负偏压为200V时达到最佳.
採用SA - 6T電弧離子鍍設備在拋光後的W18Cr4V高速鋼錶麵沉積TiN薄膜,在其他參數不變的情況下,攷察偏壓對薄膜結構和機械性能的影響.通過掃描電鏡觀察瞭TiN薄膜的錶麵形貌,採用X射線衍射儀對結構進行物相分析,利用XP-2檯階儀測試瞭薄膜的厚度,併用納米壓痕儀和多功能錶麵測試儀分彆對薄膜的硬度和膜基結閤力進行測量.結果錶明:隨著負偏壓的增加,具有麵心立方結構的TiN薄膜沿(111)密排麵的擇優生長明顯加彊；薄膜厚度(沉積速率)呈現先增大後減小的趨勢,在負偏壓為100 V時達到最大;薄膜綜閤力學性能在負偏壓為200V時達到最佳.
채용SA - 6T전호리자도설비재포광후적W18Cr4V고속강표면침적TiN박막,재기타삼수불변적정황하,고찰편압대박막결구화궤계성능적영향.통과소묘전경관찰료TiN박막적표면형모,채용X사선연사의대결구진행물상분석,이용XP-2태계의측시료박막적후도,병용납미압흔의화다공능표면측시의분별대박막적경도화막기결합력진행측량.결과표명:수착부편압적증가,구유면심립방결구적TiN박막연(111)밀배면적택우생장명현가강；박막후도(침적속솔)정현선증대후감소적추세,재부편압위100 V시체도최대;박막종합역학성능재부편압위200V시체도최가.
