微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2003年
1期
61-64
,共4页
吴茂松%杨春生%茅昕辉%赵小林%蔡炳初
吳茂鬆%楊春生%茅昕輝%趙小林%蔡炳初
오무송%양춘생%모흔휘%조소림%채병초
微机电系统%电感器%SU-8%微加工%螺线管
微機電繫統%電感器%SU-8%微加工%螺線管
미궤전계통%전감기%SU-8%미가공%라선관
为了满足RF电路、电源电路、微执行器和微传感器等领域对高性能和工艺简单的电感器的广泛需求,用正、负胶结合的微加工工艺,在硅基片上制作了有坡莫合金铁芯的和在玻璃基片上没有铁芯的、其它结构和参数均相同的两种螺线管型微电感器,测试了它们在1～40MHz频率范围的电感、电阻和Q因子,并进行了比较和讨论.其结果与现有理论知识相一致.实验证明了具有坡莫合金铁芯的螺线管型微电感器在低于30MHz的频率下使用更有意义.而无铁芯螺线管型微电感器还可以用于更高频率的场合.
為瞭滿足RF電路、電源電路、微執行器和微傳感器等領域對高性能和工藝簡單的電感器的廣汎需求,用正、負膠結閤的微加工工藝,在硅基片上製作瞭有坡莫閤金鐵芯的和在玻璃基片上沒有鐵芯的、其它結構和參數均相同的兩種螺線管型微電感器,測試瞭它們在1～40MHz頻率範圍的電感、電阻和Q因子,併進行瞭比較和討論.其結果與現有理論知識相一緻.實驗證明瞭具有坡莫閤金鐵芯的螺線管型微電感器在低于30MHz的頻率下使用更有意義.而無鐵芯螺線管型微電感器還可以用于更高頻率的場閤.
위료만족RF전로、전원전로、미집행기화미전감기등영역대고성능화공예간단적전감기적엄범수구,용정、부효결합적미가공공예,재규기편상제작료유파막합금철심적화재파리기편상몰유철심적、기타결구화삼수균상동적량충라선관형미전감기,측시료타문재1～40MHz빈솔범위적전감、전조화Q인자,병진행료비교화토론.기결과여현유이론지식상일치.실험증명료구유파막합금철심적라선관형미전감기재저우30MHz적빈솔하사용경유의의.이무철심라선관형미전감기환가이용우경고빈솔적장합.
