微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2003年
3期
9-15
,共7页
离子束%投影%曝光%镂空掩模
離子束%投影%曝光%鏤空掩模
리자속%투영%폭광%루공엄모
论述了离子束曝光技术的原理、特点,分析了其面临的关键技术问题,如掩模技术、离子源技术、图像对准技术等,并介绍了这些年来国外的一些研究机构及公司在离子束曝光技术上的研究进展及取得的一些新结果.
論述瞭離子束曝光技術的原理、特點,分析瞭其麵臨的關鍵技術問題,如掩模技術、離子源技術、圖像對準技術等,併介紹瞭這些年來國外的一些研究機構及公司在離子束曝光技術上的研究進展及取得的一些新結果.
논술료리자속폭광기술적원리、특점,분석료기면림적관건기술문제,여엄모기술、리자원기술、도상대준기술등,병개소료저사년래국외적일사연구궤구급공사재리자속폭광기술상적연구진전급취득적일사신결과.
