电子学报
電子學報
전자학보
ACTA ELECTRONICA SINICA
2003年
12期
1914-1916
,共3页
石艳玲%卿健%李炜%忻佩胜%朱自强%赖宗声
石豔玲%卿健%李煒%忻珮勝%硃自彊%賴宗聲
석염령%경건%리위%흔패성%주자강%뢰종성
微机械移相器%高阻硅%驱动电压%振动寿命
微機械移相器%高阻硅%驅動電壓%振動壽命
미궤계이상기%고조규%구동전압%진동수명
通过在共平面波导上周期性地分布微机械电容,外加电压驱动改变电容值,可实现级联式MEMS移相器.本文讨论了优化相移特性对共平面波导特性阻抗及下拉电压的要求,通过工艺参数优化制备了高阻硅基上的Ka波段级联式MEMS移相器,测试结果表明制备器件具有较低的驱动电压,8V时即产生明显的相移量,在36GHz处15V驱动电压时相移量为118°,25V时为286°.对微结构弹性膜的机械振动寿命测试表明,13级级联的MEMS移相器所有弹性膜同步振动的寿命为3×106次.为器件的实用化提供了重要保障.
通過在共平麵波導上週期性地分佈微機械電容,外加電壓驅動改變電容值,可實現級聯式MEMS移相器.本文討論瞭優化相移特性對共平麵波導特性阻抗及下拉電壓的要求,通過工藝參數優化製備瞭高阻硅基上的Ka波段級聯式MEMS移相器,測試結果錶明製備器件具有較低的驅動電壓,8V時即產生明顯的相移量,在36GHz處15V驅動電壓時相移量為118°,25V時為286°.對微結構彈性膜的機械振動壽命測試錶明,13級級聯的MEMS移相器所有彈性膜同步振動的壽命為3×106次.為器件的實用化提供瞭重要保障.
통과재공평면파도상주기성지분포미궤계전용,외가전압구동개변전용치,가실현급련식MEMS이상기.본문토론료우화상이특성대공평면파도특성조항급하랍전압적요구,통과공예삼수우화제비료고조규기상적Ka파단급련식MEMS이상기,측시결과표명제비기건구유교저적구동전압,8V시즉산생명현적상이량,재36GHz처15V구동전압시상이량위118°,25V시위286°.대미결구탄성막적궤계진동수명측시표명,13급급련적MEMS이상기소유탄성막동보진동적수명위3×106차.위기건적실용화제공료중요보장.
