电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2004年
9期
3-5
,共3页
杨邦朝%滕林%杜晓松%周鸿仁
楊邦朝%滕林%杜曉鬆%週鴻仁
양방조%등림%두효송%주홍인
电子技术%锰铜薄膜%X射线衍射%扫描电镜%压阻系数
電子技術%錳銅薄膜%X射線衍射%掃描電鏡%壓阻繫數
전자기술%맹동박막%X사선연사%소묘전경%압조계수
为了锰铜传感器微型化,采用直流磁控溅射法制备适合高压力测量的锰铜薄膜,用X射线衍射和扫描电子显微镜技术分析了薄膜的结构和形貌,动态加载实验标定了锰铜薄膜的压阻系数.研究结果表明,晶粒尺寸决定了薄膜的压阻系数,经360℃热处理1 h后,薄膜晶粒长大,压阻系数有着明显提高(K值达到0.02 GPa-1),性能达到锰铜箔的水平.
為瞭錳銅傳感器微型化,採用直流磁控濺射法製備適閤高壓力測量的錳銅薄膜,用X射線衍射和掃描電子顯微鏡技術分析瞭薄膜的結構和形貌,動態加載實驗標定瞭錳銅薄膜的壓阻繫數.研究結果錶明,晶粒呎吋決定瞭薄膜的壓阻繫數,經360℃熱處理1 h後,薄膜晶粒長大,壓阻繫數有著明顯提高(K值達到0.02 GPa-1),性能達到錳銅箔的水平.
위료맹동전감기미형화,채용직류자공천사법제비괄합고압력측량적맹동박막,용X사선연사화소묘전자현미경기술분석료박막적결구화형모,동태가재실험표정료맹동박막적압조계수.연구결과표명,정립척촌결정료박막적압조계수,경360℃열처리1 h후,박막정립장대,압조계수유착명현제고(K치체도0.02 GPa-1),성능체도맹동박적수평.
