西安电子科技大学学报（自然科学版）
西安電子科技大學學報（自然科學版）
서안전자과기대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF XIDIAN UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2005年
4期
627-633
,共7页
郝跃%邵波涛%马晓华%韩晓亮%王剑屏
郝躍%邵波濤%馬曉華%韓曉亮%王劍屏
학약%소파도%마효화%한효량%왕검병
铜互连%基本可靠性单元%可靠性技术
銅互連%基本可靠性單元%可靠性技術
동호련%기본가고성단원%가고성기술
随着集成电路向高集成度、高可靠性方向的发展,铜互连工艺的可靠性问题逐渐显得重要.分析和比较了铜互连关键工艺,叙述了对铜互连损耗和铜通孔损耗的研究进展,对铜互连基本可靠性单元进行了讨论,指出现在仍然存在的问题,并给出了解决这些关键技术可能的方法.
隨著集成電路嚮高集成度、高可靠性方嚮的髮展,銅互連工藝的可靠性問題逐漸顯得重要.分析和比較瞭銅互連關鍵工藝,敘述瞭對銅互連損耗和銅通孔損耗的研究進展,對銅互連基本可靠性單元進行瞭討論,指齣現在仍然存在的問題,併給齣瞭解決這些關鍵技術可能的方法.
수착집성전로향고집성도、고가고성방향적발전,동호련공예적가고성문제축점현득중요.분석화비교료동호련관건공예,서술료대동호련손모화동통공손모적연구진전,대동호련기본가고성단원진행료토론,지출현재잉연존재적문제,병급출료해결저사관건기술가능적방법.
