传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2008年
5期
117-120
,共4页
曾文光%丁桂甫%王艳%付世%蔡玉丽
曾文光%丁桂甫%王豔%付世%蔡玉麗
증문광%정계보%왕염%부세%채옥려
聚合物%复合结构%电热微驱动器%有限元分析%非硅表面微加工
聚閤物%複閤結構%電熱微驅動器%有限元分析%非硅錶麵微加工
취합물%복합결구%전열미구동기%유한원분석%비규표면미가공
在弯曲梁电热微驱动器原理的基础上,通过引入热膨胀系数更大的聚合物,提出了一种新型复合结构电热微驱动器.采用了ANSYS有限元分析软件,对其基本结构形式进行了系统的仿真分析,得到了一组初步优化的器件结构参数.仿真结果表明:新型电热微驱动器有更低的能耗和更大的位移.采用非硅表面微加工技术,成功制备了新型复合结构电热微驱动器.
在彎麯樑電熱微驅動器原理的基礎上,通過引入熱膨脹繫數更大的聚閤物,提齣瞭一種新型複閤結構電熱微驅動器.採用瞭ANSYS有限元分析軟件,對其基本結構形式進行瞭繫統的倣真分析,得到瞭一組初步優化的器件結構參數.倣真結果錶明:新型電熱微驅動器有更低的能耗和更大的位移.採用非硅錶麵微加工技術,成功製備瞭新型複閤結構電熱微驅動器.
재만곡량전열미구동기원리적기출상,통과인입열팽창계수경대적취합물,제출료일충신형복합결구전열미구동기.채용료ANSYS유한원분석연건,대기기본결구형식진행료계통적방진분석,득도료일조초보우화적기건결구삼수.방진결과표명:신형전열미구동기유경저적능모화경대적위이.채용비규표면미가공기술,성공제비료신형복합결구전열미구동기.
