功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2011年
2期
233-236
,共4页
微机械%振弦%陀螺
微機械%振絃%陀螺
미궤계%진현%타라
提出了一种新的振弦式硅微机械陀螺的设计方案,这一陀螺的制作采用硅微机械工艺.一方面,陀螺驱动模块采用电磁力驱动,这样能极大地提高驱动幅度;另一方面,陀螺检测模块采用差分的双振弦方式,从而提高了检测精度.通过陀螺检测模块的振弦将角速度的变化直接转换成输出信号的频率变化,这样能够极大地提高信号的抗干扰能力.理论分析表明,这一陀螺具有测量范围宽、测量精度高、抗干扰能力强、低成本且不需要真空封装等优点,可以广泛应用于自动化和惯性导航等众多领域.
提齣瞭一種新的振絃式硅微機械陀螺的設計方案,這一陀螺的製作採用硅微機械工藝.一方麵,陀螺驅動模塊採用電磁力驅動,這樣能極大地提高驅動幅度;另一方麵,陀螺檢測模塊採用差分的雙振絃方式,從而提高瞭檢測精度.通過陀螺檢測模塊的振絃將角速度的變化直接轉換成輸齣信號的頻率變化,這樣能夠極大地提高信號的抗榦擾能力.理論分析錶明,這一陀螺具有測量範圍寬、測量精度高、抗榦擾能力彊、低成本且不需要真空封裝等優點,可以廣汎應用于自動化和慣性導航等衆多領域.
제출료일충신적진현식규미궤계타라적설계방안,저일타라적제작채용규미궤계공예.일방면,타라구동모괴채용전자력구동,저양능겁대지제고구동폭도;령일방면,타라검측모괴채용차분적쌍진현방식,종이제고료검측정도.통과타라검측모괴적진현장각속도적변화직접전환성수출신호적빈솔변화,저양능구겁대지제고신호적항간우능력.이론분석표명,저일타라구유측량범위관、측량정도고、항간우능력강、저성본차불수요진공봉장등우점,가이엄범응용우자동화화관성도항등음다영역.
