半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2011年
4期
280-282,321
,共4页
统计过程控制技术%MIM电容%正态分布%工序能力指数%控制图
統計過程控製技術%MIM電容%正態分佈%工序能力指數%控製圖
통계과정공제기술%MIM전용%정태분포%공서능력지수%공제도
统计过程控制(statistic process control,SPC)是一种科学有效的方法,该技术的应用改变了以往靠经验来进行调整生产的模式.以MIM电容为例,首先通过对电容客值数据连续采集,进行定量的数理统计分析,评估该工艺的工艺控制能力.然后绘制控制图,对工艺进行监控.通过分析控制图,最终对工艺过程的能力水平以及是否处于统计受控状态作出定量结论.在工艺过程中当发现统计数据异常时,及时采取纠正措施,使工艺状态始终受控.通过运用SPC技术对数据进行分析,能有效改进工艺,提高产品质量.
統計過程控製(statistic process control,SPC)是一種科學有效的方法,該技術的應用改變瞭以往靠經驗來進行調整生產的模式.以MIM電容為例,首先通過對電容客值數據連續採集,進行定量的數理統計分析,評估該工藝的工藝控製能力.然後繪製控製圖,對工藝進行鑑控.通過分析控製圖,最終對工藝過程的能力水平以及是否處于統計受控狀態作齣定量結論.在工藝過程中噹髮現統計數據異常時,及時採取糾正措施,使工藝狀態始終受控.通過運用SPC技術對數據進行分析,能有效改進工藝,提高產品質量.
통계과정공제(statistic process control,SPC)시일충과학유효적방법,해기술적응용개변료이왕고경험래진행조정생산적모식.이MIM전용위례,수선통과대전용객치수거련속채집,진행정량적수리통계분석,평고해공예적공예공제능력.연후회제공제도,대공예진행감공.통과분석공제도,최종대공예과정적능력수평이급시부처우통계수공상태작출정량결론.재공예과정중당발현통계수거이상시,급시채취규정조시,사공예상태시종수공.통과운용SPC기술대수거진행분석,능유효개진공예,제고산품질량.
