CAJ | 학술논문

为降低敏感元件对称性较差的微机械加速度计的振动偏移,对加速度计振动偏移产生的原因和抑制方案进行研究.首先,分析了系统学模型,并得出对于不对称的敏感元件采用对称的电容检测电路时,检测电路输出和敏感元件动极板位移关系函数中存在明显偶次项系数,进而造成振动零偏;其次,讨论了力矩器的非线性,通过理论分析得出,外加静电力等效对称方案无法抑制力矩器环节的振动偏移,提出了敏感元件等效对称补偿方案以及静电力发生器等效对称化方案,通过理论分析得出该方案大大降低了敏感元件不对称带来的振动偏移;最后,对静电力对称方案和等效对称补偿方案进行了对比试验.试验结果表明,对于对称性较差的敏感元件,等效对称补偿方案在保证线性度的同时,大大减小了振动时输出均值的偏移.
위강저민감원건대칭성교차적미궤계가속도계적진동편이,대가속도계진동편이산생적원인화억제방안진행연구.수선,분석료계통학모형,병득출대우불대칭적민감원건채용대칭적전용검측전로시,검측전로수출화민감원건동겁판위이관계함수중존재명현우차항계수,진이조성진동령편;기차,토론료력구기적비선성,통과이론분석득출,외가정전력등효대칭방안무법억제력구기배절적진동편이,제출료민감원건등효대칭보상방안이급정전력발생기등효대칭화방안,통과이론분석득출해방안대대강저료민감원건불대칭대래적진동편이;최후,대정전력대칭방안화등효대칭보상방안진행료대비시험.시험결과표명,대우대칭성교차적민감원건,등효대칭보상방안재보증선성도적동시,대대감소료진동시수출균치적편이.