清华大学学报(自然科学版)
清華大學學報(自然科學版)
청화대학학보(자연과학판)
Journal of Tsinghua University
2001年
9期
126-128
,共3页
顾利忠%苏菲%赵颉%张以恒
顧利忠%囌菲%趙頡%張以恆
고리충%소비%조힐%장이항
瞬态激振%微机械材料%悬臂梁%弹性模量
瞬態激振%微機械材料%懸臂樑%彈性模量
순태격진%미궤계재료%현비량%탄성모량
利用蚀刻硅技术制造的微机械构件,由于其特殊的制作过程需要对其材料的机械性能如弹性模量等进行测试.文章综述了已有的微机械材料弹性模量测试方法.在此基础上,提出了用瞬态激振法来测量微机械材料的弹性模量的方法,这种方法把微机械构件做成悬臂梁,通过对悬臂梁进行瞬态碰击激励并使之产生一个短暂的振荡.然后求得振荡趋于稳定时的频率,这就是悬臂梁的固有谐振频率.再通过计算公式求出微机械材料的弹性模量.这种方法具有测试装置简单、测量容易、精度高等特点.可作为一种常用的测试方法.
利用蝕刻硅技術製造的微機械構件,由于其特殊的製作過程需要對其材料的機械性能如彈性模量等進行測試.文章綜述瞭已有的微機械材料彈性模量測試方法.在此基礎上,提齣瞭用瞬態激振法來測量微機械材料的彈性模量的方法,這種方法把微機械構件做成懸臂樑,通過對懸臂樑進行瞬態踫擊激勵併使之產生一箇短暫的振盪.然後求得振盪趨于穩定時的頻率,這就是懸臂樑的固有諧振頻率.再通過計算公式求齣微機械材料的彈性模量.這種方法具有測試裝置簡單、測量容易、精度高等特點.可作為一種常用的測試方法.
이용식각규기술제조적미궤계구건,유우기특수적제작과정수요대기재료적궤계성능여탄성모량등진행측시.문장종술료이유적미궤계재료탄성모량측시방법.재차기출상,제출료용순태격진법래측량미궤계재료적탄성모량적방법,저충방법파미궤계구건주성현비량,통과대현비량진행순태팽격격려병사지산생일개단잠적진탕.연후구득진탕추우은정시적빈솔,저취시현비량적고유해진빈솔.재통과계산공식구출미궤계재료적탄성모량.저충방법구유측시장치간단、측량용역、정도고등특점.가작위일충상용적측시방법.
