真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2001年
4期
281-284，290
,共5页
微波等离子体化学气相沉积%金刚石膜%氧气
微波等離子體化學氣相沉積%金剛石膜%氧氣
미파등리자체화학기상침적%금강석막%양기
在水冷反应室式微波等离子体化学气相沉积装置中以混合的CH4/H2/O2为反应气体,研究了O2浓度对制备金刚石膜的影响.实验发现,很低浓度的O2会显著促进金刚石的沉积,并稍稍抑制非晶C的沉积,因而沉积膜中非晶C的含量急剧下降;较高浓度的O2会同时抑制金刚石和非晶C的沉积,但由于抑制金刚石的作用更强烈,沉积膜中非晶C的含量反而有所升高.另外,O2的存在,有利于沉积颗粒较小的金刚石膜.
在水冷反應室式微波等離子體化學氣相沉積裝置中以混閤的CH4/H2/O2為反應氣體,研究瞭O2濃度對製備金剛石膜的影響.實驗髮現,很低濃度的O2會顯著促進金剛石的沉積,併稍稍抑製非晶C的沉積,因而沉積膜中非晶C的含量急劇下降;較高濃度的O2會同時抑製金剛石和非晶C的沉積,但由于抑製金剛石的作用更彊烈,沉積膜中非晶C的含量反而有所升高.另外,O2的存在,有利于沉積顆粒較小的金剛石膜.
재수랭반응실식미파등리자체화학기상침적장치중이혼합적CH4/H2/O2위반응기체,연구료O2농도대제비금강석막적영향.실험발현,흔저농도적O2회현저촉진금강석적침적,병초초억제비정C적침적,인이침적막중비정C적함량급극하강;교고농도적O2회동시억제금강석화비정C적침적,단유우억제금강석적작용경강렬,침적막중비정C적함량반이유소승고.령외,O2적존재,유리우침적과립교소적금강석막.
