真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2007年
z1期
72-76
,共5页
黎永志%黄光周%帅福利%于继荣
黎永誌%黃光週%帥福利%于繼榮
려영지%황광주%수복리%우계영
光学薄膜%厚度监控%算法
光學薄膜%厚度鑑控%算法
광학박막%후도감공%산법
从工程的角度分析了传统斜率法判断极值点的固有局限性,然后建立监控信号的数学模型,在此基础上,运用现代数字信号处理技术和数学方法,设计了一种新的光学薄膜厚度实时监控算法.
從工程的角度分析瞭傳統斜率法判斷極值點的固有跼限性,然後建立鑑控信號的數學模型,在此基礎上,運用現代數字信號處理技術和數學方法,設計瞭一種新的光學薄膜厚度實時鑑控算法.
종공정적각도분석료전통사솔법판단겁치점적고유국한성,연후건립감공신호적수학모형,재차기출상,운용현대수자신호처리기술화수학방법,설계료일충신적광학박막후도실시감공산법.
