郧阳师范高等专科学校学报
鄖暘師範高等專科學校學報
운양사범고등전과학교학보
JOURNAL OF YUNYANG TEACHERS COLLEGE
2008年
3期
26-27
,共2页
迈克尔逊干涉仪%薄膜厚度%干涉条纹
邁剋爾遜榦涉儀%薄膜厚度%榦涉條紋
매극이손간섭의%박막후도%간섭조문
用迈克尔逊干涉仅测量薄膜折射率与厚度的方法,原理简单.通过测出动镜的移动量及观察相应的干涉条纹变化现象,就能计算薄膜的厚度,有较高的测量精度.并基于此装王进行实际测量,理论和实际相符的较好.
用邁剋爾遜榦涉僅測量薄膜摺射率與厚度的方法,原理簡單.通過測齣動鏡的移動量及觀察相應的榦涉條紋變化現象,就能計算薄膜的厚度,有較高的測量精度.併基于此裝王進行實際測量,理論和實際相符的較好.
용매극이손간섭부측량박막절사솔여후도적방법,원리간단.통과측출동경적이동량급관찰상응적간섭조문변화현상,취능계산박막적후도,유교고적측량정도.병기우차장왕진행실제측량,이론화실제상부적교호.
