真空
真空
진공
VACUUM
2008年
4期
80-82
,共3页
电弧离子镀膜%耐蚀性%Zr膜%靶座结构
電弧離子鍍膜%耐蝕性%Zr膜%靶座結構
전호리자도막%내식성%Zr막%파좌결구
通过对靶座结构的改变,使得靶面不再存在其他材质,由此提高了电弧离子镀膜膜层的纯度.考核了靶结构调整前后所镀制锫膜层的耐酸蚀性能,通过XPS手段测试了两种状态下膜层的成份及其含量,解释了两种膜层耐酸蚀性能差异的原因.
通過對靶座結構的改變,使得靶麵不再存在其他材質,由此提高瞭電弧離子鍍膜膜層的純度.攷覈瞭靶結構調整前後所鍍製锫膜層的耐痠蝕性能,通過XPS手段測試瞭兩種狀態下膜層的成份及其含量,解釋瞭兩種膜層耐痠蝕性能差異的原因.
통과대파좌결구적개변,사득파면불재존재기타재질,유차제고료전호리자도막막층적순도.고핵료파결구조정전후소도제부막층적내산식성능,통과XPS수단측시료량충상태하막층적성빈급기함량,해석료량충막층내산식성능차이적원인.
