传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2009年
8期
1117-1121
,共5页
满海鸥%肖定邦%吴学忠%陈志华%侯占强
滿海鷗%肖定邦%吳學忠%陳誌華%侯佔彊
만해구%초정방%오학충%진지화%후점강
硅微陀螺%驱动谐振频率%温度模型%线性回归
硅微陀螺%驅動諧振頻率%溫度模型%線性迴歸
규미타라%구동해진빈솔%온도모형%선성회귀
硅微机械陀螺的零位输出受温度影响较大,为提高精度,对其进行温度误差补偿很有必要,而陀螺表头真空封装后内部温度难以直接测量.通过研究模态频率与温度之间的关系,发现驱动轴谐振频率与温度之间存在很好的线性相关性,同时具有很好的温度重复性.由于谐振频率的精度很高,所以用谐振频率测量温度会有很好的分辨率.因此,可以利用驱动模态的谐振频率来标定陀螺表头内部的温度,为下一步的温度补偿提供新的方法.
硅微機械陀螺的零位輸齣受溫度影響較大,為提高精度,對其進行溫度誤差補償很有必要,而陀螺錶頭真空封裝後內部溫度難以直接測量.通過研究模態頻率與溫度之間的關繫,髮現驅動軸諧振頻率與溫度之間存在很好的線性相關性,同時具有很好的溫度重複性.由于諧振頻率的精度很高,所以用諧振頻率測量溫度會有很好的分辨率.因此,可以利用驅動模態的諧振頻率來標定陀螺錶頭內部的溫度,為下一步的溫度補償提供新的方法.
규미궤계타라적령위수출수온도영향교대,위제고정도,대기진행온도오차보상흔유필요,이타라표두진공봉장후내부온도난이직접측량.통과연구모태빈솔여온도지간적관계,발현구동축해진빈솔여온도지간존재흔호적선성상관성,동시구유흔호적온도중복성.유우해진빈솔적정도흔고,소이용해진빈솔측량온도회유흔호적분변솔.인차,가이이용구동모태적해진빈솔래표정타라표두내부적온도,위하일보적온도보상제공신적방법.
