无掩膜腐蚀与伺服型电容式微加速度计
무엄막부식여사복형전용식미가속도계
Maskless etching and server capacitance micro-accelerometer
  • 万方数据
    信息与电子工程 신식여전자공정
    INFORMATION AND ELECTRONIC ENGINEERING
    2009年 5期 432-434 ,共3页

    袁明权%彭勃%赵龙%武蕊%唐海林%席仕伟%谭刚

    원명권%팽발%조룡%무예%당해림%석사위%담강

    微电子机械系统%微加速度计%无掩膜腐蚀%氧化%微机械加工%残差 微電子機械繫統%微加速度計%無掩膜腐蝕%氧化%微機械加工%殘差
    미전자궤계계통%미가속도계%무엄막부식%양화%미궤계가공%잔차
    为了解决"三明治"这类微器件制作的深窄槽结构成型问题,运用无掩膜湿法腐蚀技术,成型悬臂梁雏形后再成型质量块,较好地实现了悬臂梁与质量块同时准确成型,研制出±70 g和±5 g两种不同量程的微加速度计.样品测试表明,利用这项技术所制作的微加速度计相对精度皆优于1×10-4.其中,±70 g量程的残差可控制在7 mg以内,非线性可达0.02%;±5 g量程的残差在0.4 mg左右.
    위료해결"삼명치"저류미기건제작적심착조결구성형문제,운용무엄막습법부식기술,성형현비량추형후재성형질량괴,교호지실현료현비량여질량괴동시준학성형,연제출±70 g화±5 g량충불동량정적미가속도계.양품측시표명,이용저항기술소제작적미가속도계상대정도개우우1×10-4.기중,±70 g량정적잔차가공제재7 mg이내,비선성가체0.02%;±5 g량정적잔차재0.4 mg좌우.
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