扫描电镜电压衬度像方法在失效分析中的应用
소묘전경전압츤도상방법재실효분석중적응용
The Application of Voltage Contrast Image of the SEM in Failure Analysis
  • 万方数据
    材料工程 재료공정
    JOURNAL OF MATERIALS ENGINEERING
    2003年 z1期 328-329 ,共2页

    王全%胡斌%孙静%胡会能

    왕전%호빈%손정%호회능

    电压衬度像%充电现象%开路 電壓襯度像%充電現象%開路
    전압츤도상%충전현상%개로
    阐述了利用扫描电子显微镜获取电压衬度像的机理,并对样品充电现象进行了解释.通过引用两例失效分析案例,描述了利用样品的充电现象确定元器件内部开路位置的方法.
    천술료이용소묘전자현미경획취전압츤도상적궤리,병대양품충전현상진행료해석.통과인용량례실효분석안례,묘술료이용양품적충전현상학정원기건내부개로위치적방법.
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