光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2006年
4期
69-73
,共5页
潘洪昌%张豪杰%张甫光%江绍基
潘洪昌%張豪傑%張甫光%江紹基
반홍창%장호걸%장보광%강소기
CCD%镀膜%宽光谱监控%数字滤波
CCD%鍍膜%寬光譜鑑控%數字濾波
CCD%도막%관광보감공%수자려파
使用CCD(电荷耦合器件)进行光学镀膜宽光谱监控过程中,监测信号受外界杂散光干扰、真空室内背景辐射等因数影响,信噪比低,难于准确监控.在对系统前端光路改造的基础上,采用了数字滤波技术对后期数据进行处理,达到信号压噪目的.实验证明该宽光谱膜厚监控系统具有稳定性好、精度较高、响应速度快等优点.
使用CCD(電荷耦閤器件)進行光學鍍膜寬光譜鑑控過程中,鑑測信號受外界雜散光榦擾、真空室內揹景輻射等因數影響,信譟比低,難于準確鑑控.在對繫統前耑光路改造的基礎上,採用瞭數字濾波技術對後期數據進行處理,達到信號壓譟目的.實驗證明該寬光譜膜厚鑑控繫統具有穩定性好、精度較高、響應速度快等優點.
사용CCD(전하우합기건)진행광학도막관광보감공과정중,감측신호수외계잡산광간우、진공실내배경복사등인수영향,신조비저,난우준학감공.재대계통전단광로개조적기출상,채용료수자려파기술대후기수거진행처리,체도신호압조목적.실험증명해관광보막후감공계통구유은정성호、정도교고、향응속도쾌등우점.
