CAJ | 학술논문

提出了一种表面硅微器件结构设计方法,解决了目前微机电系统(MEMS)结构设计中直观性差、工艺难度大等问题.该方法将三维特征建模的设计思想运用到MEMS设计中,在建立三维特征库的基础上实现了器件结构的快速直观设计.通过三维设计软件SolidWorks的用户接口开发的应用程序不仅实现了从器件结构中自动提取掩膜版和工艺流程,而且消除了人工设计掩膜版和工艺流程的繁琐过程.应用实例表明,与传统的通过掩膜版设计MEMS器件结构的方法相比,该方法简洁、高效,更符合设计者所看即所得的思维方式.同时,SolidWorks软件作为开发MEMS辅助设计工具的基础平台,可以省去开发几何造型模块的任务,从而为新一代MEMS辅助设计工具的开发提供了新的思路.
제출료일충표면규미기건결구설계방법,해결료목전미궤전계통(MEMS)결구설계중직관성차、공예난도대등문제.해방법장삼유특정건모적설계사상운용도MEMS설계중,재건립삼유특정고적기출상실현료기건결구적쾌속직관설계.통과삼유설계연건SolidWorks적용호접구개발적응용정서불부실현료종기건결구중자동제취엄막판화공예류정,이차소제료인공설계엄막판화공예류정적번쇄과정.응용실례표명,여전통적통과엄막판설계MEMS기건결구적방법상비,해방법간길、고효,경부합설계자소간즉소득적사유방식.동시,SolidWorks연건작위개발MEMS보조설계공구적기출평태,가이성거개발궤하조형모괴적임무,종이위신일대MEMS보조설계공구적개발제공료신적사로.