硬质合金
硬質閤金
경질합금
CEMENTED CARBIDE
2008年
3期
154-157
,共4页
满卫东%谢鹏%汪建华%孙蕾%余学超
滿衛東%謝鵬%汪建華%孫蕾%餘學超
만위동%사붕%왕건화%손뢰%여학초
金刚石涂层%硬质合金刀片%微波等离子体化学气相沉积%甲烷浓度
金剛石塗層%硬質閤金刀片%微波等離子體化學氣相沉積%甲烷濃度
금강석도층%경질합금도편%미파등리자체화학기상침적%갑완농도
采用微波等离子体CVD(MWCVD)法小批量地生产了金刚石涂层刀片,在金刚石薄膜沉积的过程中,研究了碳源浓度对沉积金刚石膜的均匀性的影响.用扫描电子显微镜(SEM)和激光拉曼光谱(Raman)对薄膜的表面形貌和质量进行了表征.结果表明较低的低甲烷浓度适合金刚石涂层刀片的批量生产.
採用微波等離子體CVD(MWCVD)法小批量地生產瞭金剛石塗層刀片,在金剛石薄膜沉積的過程中,研究瞭碳源濃度對沉積金剛石膜的均勻性的影響.用掃描電子顯微鏡(SEM)和激光拉曼光譜(Raman)對薄膜的錶麵形貌和質量進行瞭錶徵.結果錶明較低的低甲烷濃度適閤金剛石塗層刀片的批量生產.
채용미파등리자체CVD(MWCVD)법소비량지생산료금강석도층도편,재금강석박막침적적과정중,연구료탄원농도대침적금강석막적균균성적영향.용소묘전자현미경(SEM)화격광랍만광보(Raman)대박막적표면형모화질량진행료표정.결과표명교저적저갑완농도괄합금강석도층도편적비량생산.
