电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2009年
2期
38-41
,共4页
霍静%田文杰%田双%邹淑芳
霍靜%田文傑%田雙%鄒淑芳
곽정%전문걸%전쌍%추숙방
集成式谐振器%力敏特性%电极材料
集成式諧振器%力敏特性%電極材料
집성식해진기%력민특성%전겁재료
设计制作了同一晶片上的集成三电极的谐振器.研究了这种谐振器的力敏特性与加力方位、电极材料的关系.并对电极材料分别为Au、Al的谐振器进行了比较实验.结果表明,谐振器的力敏特性与加力方位密切相关,加力方位与x轴夹角ψ为0°时,力敏系数最大;电极材料通过对石英晶体谐振器有效机电耦合系数的影响,进而影响谐振器的力-频特性.集成式谐振器在相同加力方位时,镀Au电极比Al电极的力敏系数最大可高出189.8 Hz/N.
設計製作瞭同一晶片上的集成三電極的諧振器.研究瞭這種諧振器的力敏特性與加力方位、電極材料的關繫.併對電極材料分彆為Au、Al的諧振器進行瞭比較實驗.結果錶明,諧振器的力敏特性與加力方位密切相關,加力方位與x軸夾角ψ為0°時,力敏繫數最大;電極材料通過對石英晶體諧振器有效機電耦閤繫數的影響,進而影響諧振器的力-頻特性.集成式諧振器在相同加力方位時,鍍Au電極比Al電極的力敏繫數最大可高齣189.8 Hz/N.
설계제작료동일정편상적집성삼전겁적해진기.연구료저충해진기적력민특성여가력방위、전겁재료적관계.병대전겁재료분별위Au、Al적해진기진행료비교실험.결과표명,해진기적력민특성여가력방위밀절상관,가력방위여x축협각ψ위0°시,력민계수최대;전겁재료통과대석영정체해진기유효궤전우합계수적영향,진이영향해진기적력-빈특성.집성식해진기재상동가력방위시,도Au전겁비Al전겁적력민계수최대가고출189.8 Hz/N.
