功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2001年
6期
561-563
,共3页
黄创君%林璇英%林揆训%余楚迎%姚若河
黃創君%林璇英%林揆訓%餘楚迎%姚若河
황창군%림선영%림규훈%여초영%요약하
多晶硅%固相晶化%非晶硅氢合金薄膜%薄膜硅太阳能 电池
多晶硅%固相晶化%非晶硅氫閤金薄膜%薄膜硅太暘能 電池
다정규%고상정화%비정규경합금박막%박막규태양능 전지
多晶硅薄膜是集晶体硅材料和非晶硅氢合金薄膜优点于一体,在能源科学、信息科学的微电子技术中有广泛应用的一种新型功能材料.本文综述低温(＜600℃)制备高质量多晶硅薄膜技术的研究进展及其应用,着重讨论用等离子体化学气相沉积(PECVD)硅基薄膜固相晶化制备多晶硅技术及其在薄膜硅太阳能电池上的应用.
多晶硅薄膜是集晶體硅材料和非晶硅氫閤金薄膜優點于一體,在能源科學、信息科學的微電子技術中有廣汎應用的一種新型功能材料.本文綜述低溫(＜600℃)製備高質量多晶硅薄膜技術的研究進展及其應用,著重討論用等離子體化學氣相沉積(PECVD)硅基薄膜固相晶化製備多晶硅技術及其在薄膜硅太暘能電池上的應用.
다정규박막시집정체규재료화비정규경합금박막우점우일체,재능원과학、신식과학적미전자기술중유엄범응용적일충신형공능재료.본문종술저온(＜600℃)제비고질량다정규박막기술적연구진전급기응용,착중토론용등리자체화학기상침적(PECVD)규기박막고상정화제비다정규기술급기재박막규태양능전지상적응용.
