CAJ | 학술논문

利用射频磁控溅射法对0.8Pb(Zr0.3Ti0.7)O3+0.2PbO的陶瓷靶进行溅射,在5英寸的TiOx/Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备出了PZT薄膜.实验表明,PZT薄膜的取向由(111)到(100)的改变可以通过精确控制基片温度来实现.(111)取向的薄膜具有良好的介电、铁电和热释电性能,其剩余极化强度、介电常数、介电损耗、矫顽场和热释电系数分别为20μC/cm2,370,1.5%,130kV/cm和1.1×10-8C/cm2K,该薄膜可望在非制冷红外焦平面探测器阵列中得到应用.
이용사빈자공천사법대0.8Pb(Zr0.3Ti0.7)O3+0.2PbO적도자파진행천사,재5영촌적TiOx/Pt/Ti/SiO2/Si기편상제비출료PZT박막.실험표명,PZT박막적취향유(111)도(100)적개변가이통과정학공제기편온도래실현.(111)취향적박막구유량호적개전、철전화열석전성능,기잉여겁화강도、개전상수、개전손모、교완장화열석전계수분별위20μC/cm2,370,1.5%,130kV/cm화1.1×10-8C/cm2K,해박막가망재비제랭홍외초평면탐측기진렬중득도응용.