高技术通讯
高技術通訊
고기술통신
HIGH TECHNOLOGY LETTERS
2007年
1期
1-5
,共5页
王伟%赵雁南%徐华%贾培发
王偉%趙雁南%徐華%賈培髮
왕위%조안남%서화%가배발
面向服务%IC%刻蚀%面向服务架构%控制系统%开放式系统
麵嚮服務%IC%刻蝕%麵嚮服務架構%控製繫統%開放式繫統
면향복무%IC%각식%면향복무가구%공제계통%개방식계통
提出了一种基于面向服务架构(SOA)的分布式开放控制系统模型.整个参考模型由设备抽象层、基本控制模块层、服务层和应用层四层组成.各层内部采用面向对象的方法进行设计,各层相对独立,层间的耦合性比较小.服务层包含了所有分布式子系统的服务抽象和封装,以服务的方式供应用层使用.这种控制系统模型,开放性好,各个模块的可重用性强,开发效率高.使用这种框架,成功开发了IC工艺装备中的刻蚀机硅片传输原型系统,而且取得了很好的效果.
提齣瞭一種基于麵嚮服務架構(SOA)的分佈式開放控製繫統模型.整箇參攷模型由設備抽象層、基本控製模塊層、服務層和應用層四層組成.各層內部採用麵嚮對象的方法進行設計,各層相對獨立,層間的耦閤性比較小.服務層包含瞭所有分佈式子繫統的服務抽象和封裝,以服務的方式供應用層使用.這種控製繫統模型,開放性好,各箇模塊的可重用性彊,開髮效率高.使用這種框架,成功開髮瞭IC工藝裝備中的刻蝕機硅片傳輸原型繫統,而且取得瞭很好的效果.
제출료일충기우면향복무가구(SOA)적분포식개방공제계통모형.정개삼고모형유설비추상층、기본공제모괴층、복무층화응용층사층조성.각층내부채용면향대상적방법진행설계,각층상대독립,층간적우합성비교소.복무층포함료소유분포식자계통적복무추상화봉장,이복무적방식공응용층사용.저충공제계통모형,개방성호,각개모괴적가중용성강,개발효솔고.사용저충광가,성공개발료IC공예장비중적각식궤규편전수원형계통,이차취득료흔호적효과.
