激光与红外
激光與紅外
격광여홍외
LASER & INFRARED
2007年
4期
370-372
,共3页
倍频波长分离膜%时间监控%双离子束溅射%半波孔
倍頻波長分離膜%時間鑑控%雙離子束濺射%半波孔
배빈파장분리막%시간감공%쌍리자속천사%반파공
采用双离子束溅射技术、时间控厚方式制备波长532 nm绿光激光器用倍频波长分离膜.针对制备过程中产生的半波孔现象,在简单分析形成原因的基础上,采用分组厚度优化方式调整膜层厚度,从而制备出无半波孔的高品质倍频波长分离膜.为时间监控制备非规整膜系的厚度修正提供了一种切实可行的办法.
採用雙離子束濺射技術、時間控厚方式製備波長532 nm綠光激光器用倍頻波長分離膜.針對製備過程中產生的半波孔現象,在簡單分析形成原因的基礎上,採用分組厚度優化方式調整膜層厚度,從而製備齣無半波孔的高品質倍頻波長分離膜.為時間鑑控製備非規整膜繫的厚度脩正提供瞭一種切實可行的辦法.
채용쌍리자속천사기술、시간공후방식제비파장532 nm록광격광기용배빈파장분리막.침대제비과정중산생적반파공현상,재간단분석형성원인적기출상,채용분조후도우화방식조정막층후도,종이제비출무반파공적고품질배빈파장분리막.위시간감공제비비규정막계적후도수정제공료일충절실가행적판법.
