中国惯性技术学报
中國慣性技術學報
중국관성기술학보
JOURNAL OF CHINESE INERTIAL TECHNOLOGY
2007年
5期
615-619
,共5页
微机电系统%加速度计%冲击%吸合失效%可靠性
微機電繫統%加速度計%遲擊%吸閤失效%可靠性
미궤전계통%가속도계%충격%흡합실효%가고성
冲击载荷强迫微加速度计的敏感质量大大偏离平衡位置,使差动静电力发生器的非线性效应体现出来,其结果是使正常工作时敏感质量仅在平衡位置附近有微小位移的状况下成立的负反馈闭环系统模型不再适用,敏感质量的受控特生可能变为正反馈,从而使微加速度计失效.为提高微加速度计受外界大载荷冲击后的可靠性,分析了加速度计的敏感质量在不同限制的静电反馈力下的受控特性及对应的闭环系统特性,推导了在已知止挡机械参数下确定微加速度计相应电气参数从而避免此类失效的防吸合准则.多次的验证实验表明,按防吸合准则设计了系统参数的静电力反馈加速度计,在受到远超过其本身量程的载荷冲击后,可以100%地防止吸合现象的出现.
遲擊載荷彊迫微加速度計的敏感質量大大偏離平衡位置,使差動靜電力髮生器的非線性效應體現齣來,其結果是使正常工作時敏感質量僅在平衡位置附近有微小位移的狀況下成立的負反饋閉環繫統模型不再適用,敏感質量的受控特生可能變為正反饋,從而使微加速度計失效.為提高微加速度計受外界大載荷遲擊後的可靠性,分析瞭加速度計的敏感質量在不同限製的靜電反饋力下的受控特性及對應的閉環繫統特性,推導瞭在已知止擋機械參數下確定微加速度計相應電氣參數從而避免此類失效的防吸閤準則.多次的驗證實驗錶明,按防吸閤準則設計瞭繫統參數的靜電力反饋加速度計,在受到遠超過其本身量程的載荷遲擊後,可以100%地防止吸閤現象的齣現.
충격재하강박미가속도계적민감질량대대편리평형위치,사차동정전력발생기적비선성효응체현출래,기결과시사정상공작시민감질량부재평형위치부근유미소위이적상황하성립적부반궤폐배계통모형불재괄용,민감질량적수공특생가능변위정반궤,종이사미가속도계실효.위제고미가속도계수외계대재하충격후적가고성,분석료가속도계적민감질량재불동한제적정전반궤력하적수공특성급대응적폐배계통특성,추도료재이지지당궤계삼수하학정미가속도계상응전기삼수종이피면차류실효적방흡합준칙.다차적험증실험표명,안방흡합준칙설계료계통삼수적정전력반궤가속도계,재수도원초과기본신량정적재하충격후,가이100%지방지흡합현상적출현.
