GaN薄膜的溶胶-凝胶法制备及其表征
GaN박막적용효-응효법제비급기표정
Characteristic Analysis and Preparation of GaN Film by Sol-gel Method
  • 万方数据
    光子学报 광자학보
    ACTA PHOTONICA SINICA
    2009年 1期 171-174 ,共4页

    王珊珊%王雪文%阎军峰%邓周虎%段晓峰%赵武%张志勇

    왕산산%왕설문%염군봉%산주호%단효봉%조무%장지용

    氮化镓薄膜%溶胶-凝胶%六角纤锌矿结构 氮化鎵薄膜%溶膠-凝膠%六角纖鋅礦結構
    담화가박막%용효-응효%륙각섬자광결구
    采用溶胶凝胶法成功地制备出氮化镓薄膜.以单质镓为镓源制备镓盐溶液、柠檬酸为络合剂制备出前驱体溶胶,再甩胶于Si(111) 衬底上,在氨气氛下热处理制备出GaN薄膜.X射线衍射(XRD)分析及选区衍射分析(SAED)表明所制备的薄膜是六角纤锌矿结构GaN薄膜;XPS分析其表面,结果显示样品中的镓元素、氮元素均以化合态存在,且Ga:N约为1:1;PL谱分析结果表明所制备的薄膜具有优良的发光性能.
    채용용효응효법성공지제비출담화가박막.이단질가위가원제비가염용액、저몽산위락합제제비출전구체용효,재솔효우Si(111) 츤저상,재안기분하열처리제비출GaN박막.X사선연사(XRD)분석급선구연사분석(SAED)표명소제비적박막시륙각섬자광결구GaN박막;XPS분석기표면,결과현시양품중적가원소、담원소균이화합태존재,차Ga:N약위1:1;PL보분석결과표명소제비적박막구유우량적발광성능.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문