东华大学学报(自然科学版)
東華大學學報(自然科學版)
동화대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF DONG HUA UNIVERSITY
2009年
1期
108-113
,共6页
李岩%徐绍魁%徐金洲%张菁
李巖%徐紹魁%徐金洲%張菁
리암%서소괴%서금주%장정
等离子体增强化学气相沉积(PE-CVD)%TiO2多孔薄膜%纳米晶结构
等離子體增彊化學氣相沉積(PE-CVD)%TiO2多孔薄膜%納米晶結構
등리자체증강화학기상침적(PE-CVD)%TiO2다공박막%납미정결구
采用等离子体增强化学气相沉积(PE-cvD)的方法及TICl4/O2混合气体在常温常压下可制备纳米晶TIO2多孔薄膜.利用偏光显微镜分析(PM)、扫描电子显微镜分析(SEM)、高分辩透射电镜分析(HRTEM)、X光衍射分析(XRD)等检测手段.系统地对纳米晶TIO2多孔膜表面形貌以及成分进行表征.研究结果表明:使用等离子体化学气相沉积方法,可以在常温常压下快速沉积纳米晶TiO2多孔薄膜,并且PE-CvD与传统的化学方法相比具有低能耗、低污染、方法简便、成本低等优点,是具有良好发展前景的纳米晶多孔薄膜制备新方法.
採用等離子體增彊化學氣相沉積(PE-cvD)的方法及TICl4/O2混閤氣體在常溫常壓下可製備納米晶TIO2多孔薄膜.利用偏光顯微鏡分析(PM)、掃描電子顯微鏡分析(SEM)、高分辯透射電鏡分析(HRTEM)、X光衍射分析(XRD)等檢測手段.繫統地對納米晶TIO2多孔膜錶麵形貌以及成分進行錶徵.研究結果錶明:使用等離子體化學氣相沉積方法,可以在常溫常壓下快速沉積納米晶TiO2多孔薄膜,併且PE-CvD與傳統的化學方法相比具有低能耗、低汙染、方法簡便、成本低等優點,是具有良好髮展前景的納米晶多孔薄膜製備新方法.
채용등리자체증강화학기상침적(PE-cvD)적방법급TICl4/O2혼합기체재상온상압하가제비납미정TIO2다공박막.이용편광현미경분석(PM)、소묘전자현미경분석(SEM)、고분변투사전경분석(HRTEM)、X광연사분석(XRD)등검측수단.계통지대납미정TIO2다공막표면형모이급성분진행표정.연구결과표명:사용등리자체화학기상침적방법,가이재상온상압하쾌속침적납미정TiO2다공박막,병차PE-CvD여전통적화학방법상비구유저능모、저오염、방법간편、성본저등우점,시구유량호발전전경적납미정다공박막제비신방법.
