火工品
火工品
화공품
INITIATORS & PYROTECHNICS
2010年
3期
1-3
,共3页
施志贵%郭菲%席仕伟%张茜梅%王亚军
施誌貴%郭菲%席仕偉%張茜梅%王亞軍
시지귀%곽비%석사위%장천매%왕아군
冲击片雷管%MEMS%集成%金属桥%SOI
遲擊片雷管%MEMS%集成%金屬橋%SOI
충격편뢰관%MEMS%집성%금속교%SOI
重点阐述了使用MEMS工艺将冲击片雷管的金属桥、反射片、飞片和加速膛集成为一体的制造方法.该方法较之2005年报道的硅集成冲击片雷管制造方法有两方面改进:一是采用金属桥替代多晶硅桥,从而使雷管作用时间缩短到2ms以内;二是使用硅-氧化硅-硅结构(SOI)材料代替单晶硅,从而使硅飞片厚度误差控制在±3mm以内.试验结果表明改进后的金属桥冲击片雷管在3.14kA电流下能够起爆HNS-IV炸药.
重點闡述瞭使用MEMS工藝將遲擊片雷管的金屬橋、反射片、飛片和加速膛集成為一體的製造方法.該方法較之2005年報道的硅集成遲擊片雷管製造方法有兩方麵改進:一是採用金屬橋替代多晶硅橋,從而使雷管作用時間縮短到2ms以內;二是使用硅-氧化硅-硅結構(SOI)材料代替單晶硅,從而使硅飛片厚度誤差控製在±3mm以內.試驗結果錶明改進後的金屬橋遲擊片雷管在3.14kA電流下能夠起爆HNS-IV炸藥.
중점천술료사용MEMS공예장충격편뢰관적금속교、반사편、비편화가속당집성위일체적제조방법.해방법교지2005년보도적규집성충격편뢰관제조방법유량방면개진:일시채용금속교체대다정규교,종이사뢰관작용시간축단도2ms이내;이시사용규-양화규-규결구(SOI)재료대체단정규,종이사규비편후도오차공제재±3mm이내.시험결과표명개진후적금속교충격편뢰관재3.14kA전류하능구기폭HNS-IV작약.
