光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2011年
1期
92-97
,共6页
王孝坤%郑立功%张学军%张忠玉
王孝坤%鄭立功%張學軍%張忠玉
왕효곤%정립공%장학군%장충옥
光学测试%子孔径拼接干涉%离轴非球面%最小二乘拟合
光學測試%子孔徑拼接榦涉%離軸非毬麵%最小二乘擬閤
광학측시%자공경병접간섭%리축비구면%최소이승의합
将子孔径拼接技术与干涉技术相结合提出了一种新的检测离轴非球面的方法,该方法无需其他辅助光学元件就可以实现对大口径、离轴非球面的测量.对其基本原理进行了分析和研究;并基于齐次坐标变换、最小二乘拟合建立了综合优化和误差均化的拼接数学模型;开发了子孔径拼接检测非球面的算法软件,并设计和搭建了子孔径拼接干涉检测装置;利用综合优化的拼接模型对一口径为376×188 mm2的离轴非球面进行了拼接干涉测量,通过子孔径拼接算法得到了精确的全口径面形分布;且对该非球面进行零位补偿测量,其全口径面形与拼接全口径面形是一致的,面形分布的PV值和RMS值的偏差仅为0.047λ和0.006λ.从而提供了除零位补偿检测外另一种定量测试大口径非球面以及离轴非球面的手段.
將子孔徑拼接技術與榦涉技術相結閤提齣瞭一種新的檢測離軸非毬麵的方法,該方法無需其他輔助光學元件就可以實現對大口徑、離軸非毬麵的測量.對其基本原理進行瞭分析和研究;併基于齊次坐標變換、最小二乘擬閤建立瞭綜閤優化和誤差均化的拼接數學模型;開髮瞭子孔徑拼接檢測非毬麵的算法軟件,併設計和搭建瞭子孔徑拼接榦涉檢測裝置;利用綜閤優化的拼接模型對一口徑為376×188 mm2的離軸非毬麵進行瞭拼接榦涉測量,通過子孔徑拼接算法得到瞭精確的全口徑麵形分佈;且對該非毬麵進行零位補償測量,其全口徑麵形與拼接全口徑麵形是一緻的,麵形分佈的PV值和RMS值的偏差僅為0.047λ和0.006λ.從而提供瞭除零位補償檢測外另一種定量測試大口徑非毬麵以及離軸非毬麵的手段.
장자공경병접기술여간섭기술상결합제출료일충신적검측리축비구면적방법,해방법무수기타보조광학원건취가이실현대대구경、리축비구면적측량.대기기본원리진행료분석화연구;병기우제차좌표변환、최소이승의합건립료종합우화화오차균화적병접수학모형;개발료자공경병접검측비구면적산법연건,병설계화탑건료자공경병접간섭검측장치;이용종합우화적병접모형대일구경위376×188 mm2적리축비구면진행료병접간섭측량,통과자공경병접산법득도료정학적전구경면형분포;차대해비구면진행령위보상측량,기전구경면형여병접전구경면형시일치적,면형분포적PV치화RMS치적편차부위0.047λ화0.006λ.종이제공료제령위보상검측외령일충정량측시대구경비구면이급리축비구면적수단.
