真空
真空
진공
VACUUM
2011年
1期
46-50
,共5页
梁佰战%李武斌%曾英%王舟
樑佰戰%李武斌%曾英%王舟
량백전%리무빈%증영%왕주
CVD%高纯钛%成核%热力学%动力学
CVD%高純鈦%成覈%熱力學%動力學
CVD%고순태%성핵%열역학%동역학
采用化学气相沉积(CVD)法制备高纯钛.以经典的成核理论为依据,对钛在沉积基体上的成核过程进行热力学和动力学分析,计算出成核过程吉布斯自由能△Gmax、成核速率v和临界晶核直径Do的数学方程;并且考察了影响钛沉积速率的因素,结果表明:卤化区的温度、分解区的温度、低价碘化物和高价碘化物的蒸汽压都对钛的沉积速率有一定的影响,其中两区的温度对钛的沉积速率影响较大.
採用化學氣相沉積(CVD)法製備高純鈦.以經典的成覈理論為依據,對鈦在沉積基體上的成覈過程進行熱力學和動力學分析,計算齣成覈過程吉佈斯自由能△Gmax、成覈速率v和臨界晶覈直徑Do的數學方程;併且攷察瞭影響鈦沉積速率的因素,結果錶明:滷化區的溫度、分解區的溫度、低價碘化物和高價碘化物的蒸汽壓都對鈦的沉積速率有一定的影響,其中兩區的溫度對鈦的沉積速率影響較大.
채용화학기상침적(CVD)법제비고순태.이경전적성핵이론위의거,대태재침적기체상적성핵과정진행열역학화동역학분석,계산출성핵과정길포사자유능△Gmax、성핵속솔v화림계정핵직경Do적수학방정;병차고찰료영향태침적속솔적인소,결과표명:서화구적온도、분해구적온도、저개전화물화고개전화물적증기압도대태적침적속솔유일정적영향,기중량구적온도대태적침적속솔영향교대.
