发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2011年
9期
902-906
,共5页
锥形碳氮结构%Raman光谱%发光机理
錐形碳氮結構%Raman光譜%髮光機理
추형탄담결구%Raman광보%발광궤리
利用偏压增强化学气相沉积系统,以CH4、H2和NH3为反应气体,分别在沉积有钛膜和碳膜的Si衬底上制备锥形碳结构,并用扫描电子显微镜、X射线能谱仪和显微Raman光谱仪对其进行表征,结果表明所制备的样品为锥形碳氮结构.用显微Raman光谱仪对锥形碳氮结构在室温下的发光性能进行了研究,发光谱显示出中心在621,643,726 nm的发光带.根据碳氮薄膜的发光机理对锥形碳氮结构的发光性能进行了分析.
利用偏壓增彊化學氣相沉積繫統,以CH4、H2和NH3為反應氣體,分彆在沉積有鈦膜和碳膜的Si襯底上製備錐形碳結構,併用掃描電子顯微鏡、X射線能譜儀和顯微Raman光譜儀對其進行錶徵,結果錶明所製備的樣品為錐形碳氮結構.用顯微Raman光譜儀對錐形碳氮結構在室溫下的髮光性能進行瞭研究,髮光譜顯示齣中心在621,643,726 nm的髮光帶.根據碳氮薄膜的髮光機理對錐形碳氮結構的髮光性能進行瞭分析.
이용편압증강화학기상침적계통,이CH4、H2화NH3위반응기체,분별재침적유태막화탄막적Si츤저상제비추형탄결구,병용소묘전자현미경、X사선능보의화현미Raman광보의대기진행표정,결과표명소제비적양품위추형탄담결구.용현미Raman광보의대추형탄담결구재실온하적발광성능진행료연구,발광보현시출중심재621,643,726 nm적발광대.근거탄담박막적발광궤리대추형탄담결구적발광성능진행료분석.
