真空
真空
진공
VACUUM
2011年
5期
64-67
,共4页
史新伟%安子凤%张水%宋开兰%姚宁%王新昌
史新偉%安子鳳%張水%宋開蘭%姚寧%王新昌
사신위%안자봉%장수%송개란%요저%왕신창
金刚石薄膜%化学气相沉积%沉积工艺
金剛石薄膜%化學氣相沉積%沉積工藝
금강석박막%화학기상침적%침적공예
纳米金刚石薄膜具有优异的性能,已在多个领域获得广泛应用.但微波等离子体化学气相沉积制备的金刚石薄膜质量却严重受沉积工艺的影响,为了深入了解沉积工艺对制备的金刚石薄膜质量的影响,本文详细研究了甲烷浓度对微波等离子体化学气相沉积( MPCVD)金刚石薄膜质量的影响,利用扫描电镜、X射线衍射、拉曼光谱以及原子力显微镜对其进行结构表征,分析了甲烷浓度对所制备的金刚石薄膜质量的影响规律.
納米金剛石薄膜具有優異的性能,已在多箇領域穫得廣汎應用.但微波等離子體化學氣相沉積製備的金剛石薄膜質量卻嚴重受沉積工藝的影響,為瞭深入瞭解沉積工藝對製備的金剛石薄膜質量的影響,本文詳細研究瞭甲烷濃度對微波等離子體化學氣相沉積( MPCVD)金剛石薄膜質量的影響,利用掃描電鏡、X射線衍射、拉曼光譜以及原子力顯微鏡對其進行結構錶徵,分析瞭甲烷濃度對所製備的金剛石薄膜質量的影響規律.
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