微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2002年
3期
29-32
,共4页
冯亚林%李莉%李霁红%郝一龙
馮亞林%李莉%李霽紅%郝一龍
풍아림%리리%리제홍%학일룡
MEMS%可靠性%失效模型:测试
MEMS%可靠性%失效模型:測試
MEMS%가고성%실효모형:측시
MEMS的可靠性是其能否成功应用的一个关键.本文对MEMS可靠性测试的要求与可靠性测试系统ShiMMeR进行了分析,通过对MEMS的可靠性实验与失效模型的综述,对MEMS的可靠性设计进行了探讨.
MEMS的可靠性是其能否成功應用的一箇關鍵.本文對MEMS可靠性測試的要求與可靠性測試繫統ShiMMeR進行瞭分析,通過對MEMS的可靠性實驗與失效模型的綜述,對MEMS的可靠性設計進行瞭探討.
MEMS적가고성시기능부성공응용적일개관건.본문대MEMS가고성측시적요구여가고성측시계통ShiMMeR진행료분석,통과대MEMS적가고성실험여실효모형적종술,대MEMS적가고성설계진행료탐토.
