微计算机信息(测控仪表自动化)
微計算機信息(測控儀錶自動化)
미계산궤신식(측공의표자동화)
MICROCOPUTER INFORMATION PRESS
2003年
9期
1-2,32
,共3页
MEMS%传感器%执行器%纳米技术%工艺
MEMS%傳感器%執行器%納米技術%工藝
MEMS%전감기%집행기%납미기술%공예
微机电系统(MEMS)是当前一个发展极为迅速并涉及多个学科的领域.本文主要介绍了微机电系统的产生与发展过程,讨论了它所采用的材料和加工技术、该技术涉及的各个学科,着重阐述了器件的具体分类、结构组成、各类器件的具体特点及其在工程技术中的实际应用,并指出其发展趋势及对诸多领域的深远影响.
微機電繫統(MEMS)是噹前一箇髮展極為迅速併涉及多箇學科的領域.本文主要介紹瞭微機電繫統的產生與髮展過程,討論瞭它所採用的材料和加工技術、該技術涉及的各箇學科,著重闡述瞭器件的具體分類、結構組成、各類器件的具體特點及其在工程技術中的實際應用,併指齣其髮展趨勢及對諸多領域的深遠影響.
미궤전계통(MEMS)시당전일개발전겁위신속병섭급다개학과적영역.본문주요개소료미궤전계통적산생여발전과정,토론료타소채용적재료화가공기술、해기술섭급적각개학과,착중천술료기건적구체분류、결구조성、각류기건적구체특점급기재공정기술중적실제응용,병지출기발전추세급대제다영역적심원영향.
