光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2005年
z1期
56-59
,共4页
EUV%MCP%CCD%空间分辨率
EUV%MCP%CCD%空間分辨率
EUV%MCP%CCD%공간분변솔
研究了EUV波段CCD相机及其空间分辨率测试.EUV波段相机由荧光屏、MCP像管、光锥和可见光CCD构成,CCD像元大小为14 μm,像元数2 048×2 048.在北京同步辐射装置光束线软X射线光学实验束线站3W1B上,利用透射网栅法对相机进行了空间分辨率测试,结果显示这种结构的CCD相机在17.1 nm波长处,空间分辨率达到19 μm,相当于极限分辨率为26 lp/mm.
研究瞭EUV波段CCD相機及其空間分辨率測試.EUV波段相機由熒光屏、MCP像管、光錐和可見光CCD構成,CCD像元大小為14 μm,像元數2 048×2 048.在北京同步輻射裝置光束線軟X射線光學實驗束線站3W1B上,利用透射網柵法對相機進行瞭空間分辨率測試,結果顯示這種結構的CCD相機在17.1 nm波長處,空間分辨率達到19 μm,相噹于極限分辨率為26 lp/mm.
연구료EUV파단CCD상궤급기공간분변솔측시.EUV파단상궤유형광병、MCP상관、광추화가견광CCD구성,CCD상원대소위14 μm,상원수2 048×2 048.재북경동보복사장치광속선연X사선광학실험속선참3W1B상,이용투사망책법대상궤진행료공간분변솔측시,결과현시저충결구적CCD상궤재17.1 nm파장처,공간분변솔체도19 μm,상당우겁한분변솔위26 lp/mm.
