计量与测试技术
計量與測試技術
계량여측시기술
METROLOGY & MEASUREMENT TECHNIQUE
2010年
6期
40-41
,共2页
十米光栅测长机%激光干涉仪%直线度%动态测量
十米光柵測長機%激光榦涉儀%直線度%動態測量
십미광책측장궤%격광간섭의%직선도%동태측량
为检测10米光栅测长机导轨的直线度,采用双频激光干涉仪系统作为主要测量工具,以最佳平方逼近法计算10米光栅测长机导轨的直线度.根据双频激光干涉仪的测量直线度测量原理,结合直线度的评定方法,对10米光栅测长机导轨的直线度的测量方法进行了介绍.实验表明,采用双频激光干涉仪测量直线度的方法实用,较为准确、方便、直观.
為檢測10米光柵測長機導軌的直線度,採用雙頻激光榦涉儀繫統作為主要測量工具,以最佳平方逼近法計算10米光柵測長機導軌的直線度.根據雙頻激光榦涉儀的測量直線度測量原理,結閤直線度的評定方法,對10米光柵測長機導軌的直線度的測量方法進行瞭介紹.實驗錶明,採用雙頻激光榦涉儀測量直線度的方法實用,較為準確、方便、直觀.
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