红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2010年
6期
1079-1084
,共6页
张庚生%唐敏学%沈为民%余建军
張庚生%唐敏學%瀋為民%餘建軍
장경생%당민학%침위민%여건군
膜基反射镜%面形控制%模糊逻辑%面形误差
膜基反射鏡%麵形控製%模糊邏輯%麵形誤差
막기반사경%면형공제%모호라집%면형오차
膜基反射镜的面形控制是研制膜基反射镜的关键技术之一.设计了一种基于模糊逻辑控制技术的膜基反射镜面形控制系统,包括面形设计、面形控制、面形分析和面形控制仿真等功能模块.采用Visual C#和MATLAB混合编程来实现系统功能,并在仿真系统中嵌入了ANSYS有限元分析功能.采用控制反射镜中心截面矢高的方法设计控制器,利用Zernike多项式拟合得到膜基反射镜的面形及其像差.对口径为300 mm、F15的膜基反射镜进行了面形控制和扰动响应仿真分析,最终得到面形误差RMS值为71λ(λ=632.8 nm),在相同条件下,该结果与根据薄膜大扰度形变理论得到的面形误差结果相一致.
膜基反射鏡的麵形控製是研製膜基反射鏡的關鍵技術之一.設計瞭一種基于模糊邏輯控製技術的膜基反射鏡麵形控製繫統,包括麵形設計、麵形控製、麵形分析和麵形控製倣真等功能模塊.採用Visual C#和MATLAB混閤編程來實現繫統功能,併在倣真繫統中嵌入瞭ANSYS有限元分析功能.採用控製反射鏡中心截麵矢高的方法設計控製器,利用Zernike多項式擬閤得到膜基反射鏡的麵形及其像差.對口徑為300 mm、F15的膜基反射鏡進行瞭麵形控製和擾動響應倣真分析,最終得到麵形誤差RMS值為71λ(λ=632.8 nm),在相同條件下,該結果與根據薄膜大擾度形變理論得到的麵形誤差結果相一緻.
막기반사경적면형공제시연제막기반사경적관건기술지일.설계료일충기우모호라집공제기술적막기반사경면형공제계통,포괄면형설계、면형공제、면형분석화면형공제방진등공능모괴.채용Visual C#화MATLAB혼합편정래실현계통공능,병재방진계통중감입료ANSYS유한원분석공능.채용공제반사경중심절면시고적방법설계공제기,이용Zernike다항식의합득도막기반사경적면형급기상차.대구경위300 mm、F15적막기반사경진행료면형공제화우동향응방진분석,최종득도면형오차RMS치위71λ(λ=632.8 nm),재상동조건하,해결과여근거박막대우도형변이론득도적면형오차결과상일치.
