光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2011年
7期
1437-1443
,共7页
刘兆栋%陈磊%韩志刚%严庆伟%朱日宏
劉兆棟%陳磊%韓誌剛%嚴慶偉%硃日宏
류조동%진뢰%한지강%엄경위%주일굉
光学测量%斜入射%干涉仪%SiC平面反射镜
光學測量%斜入射%榦涉儀%SiC平麵反射鏡
광학측량%사입사%간섭의%SiC평면반사경
采用自行研制的口径为600 mm的近红外相移平面干涉仪在斜入射条件下对大口径碳化硅(SiC)平面反射镜进行了绝对测量.首先,在一个标准的斐索干涉测试结构中测出空腔波面数据;然后,将被测平面置于干涉光路中,使被测件光轴与干涉仪光轴成α角,测得第二组波面数据.对两组波面数据处理后得到SiC平面反射镜中心垂线方向的绝对面形分布.最后,测量了630 mm口径SiC反射镜多条垂线方向的绝对面形.结果显示,中心垂线处的绝对检验PV值为0.061λ,RMS为0.014λ.实验结果表明,该测量装置可以实现比干涉仪有效口径大的光学平面垂线方向的绝对面形检测,尤其适用于镀有高反膜的光学表面或者金属表面等面形的绝对测量.
採用自行研製的口徑為600 mm的近紅外相移平麵榦涉儀在斜入射條件下對大口徑碳化硅(SiC)平麵反射鏡進行瞭絕對測量.首先,在一箇標準的斐索榦涉測試結構中測齣空腔波麵數據;然後,將被測平麵置于榦涉光路中,使被測件光軸與榦涉儀光軸成α角,測得第二組波麵數據.對兩組波麵數據處理後得到SiC平麵反射鏡中心垂線方嚮的絕對麵形分佈.最後,測量瞭630 mm口徑SiC反射鏡多條垂線方嚮的絕對麵形.結果顯示,中心垂線處的絕對檢驗PV值為0.061λ,RMS為0.014λ.實驗結果錶明,該測量裝置可以實現比榦涉儀有效口徑大的光學平麵垂線方嚮的絕對麵形檢測,尤其適用于鍍有高反膜的光學錶麵或者金屬錶麵等麵形的絕對測量.
채용자행연제적구경위600 mm적근홍외상이평면간섭의재사입사조건하대대구경탄화규(SiC)평면반사경진행료절대측량.수선,재일개표준적비색간섭측시결구중측출공강파면수거;연후,장피측평면치우간섭광로중,사피측건광축여간섭의광축성α각,측득제이조파면수거.대량조파면수거처리후득도SiC평면반사경중심수선방향적절대면형분포.최후,측량료630 mm구경SiC반사경다조수선방향적절대면형.결과현시,중심수선처적절대검험PV치위0.061λ,RMS위0.014λ.실험결과표명,해측량장치가이실현비간섭의유효구경대적광학평면수선방향적절대면형검측,우기괄용우도유고반막적광학표면혹자금속표면등면형적절대측량.
