宇航计测技术
宇航計測技術
우항계측기술
JOURNAL OF ASTRONAUTIC METROLOGY AND MEASUREMENT
2012年
4期
6-9
,共4页
云鹏%周彩红%梁雅军%刘柯%王晓宁
雲鵬%週綵紅%樑雅軍%劉柯%王曉寧
운붕%주채홍%량아군%류가%왕효저
深微孔径测量%电感传感器%红宝石测头
深微孔徑測量%電感傳感器%紅寶石測頭
심미공경측량%전감전감기%홍보석측두
介绍了一种基于高准确度电感传感器和红宝石测头,在测长机上实现深微孔径测量的方法,解决了内径的Φ1mm～Φ5mm、深度在40mm以下的深微孔内径的测量问题.通过对深微孔径测量装置测量不确定度的分析,在95％置信概率下,装置的测量不确定度为0.6μm,满足测量要求.
介紹瞭一種基于高準確度電感傳感器和紅寶石測頭,在測長機上實現深微孔徑測量的方法,解決瞭內徑的Φ1mm～Φ5mm、深度在40mm以下的深微孔內徑的測量問題.通過對深微孔徑測量裝置測量不確定度的分析,在95％置信概率下,裝置的測量不確定度為0.6μm,滿足測量要求.
개소료일충기우고준학도전감전감기화홍보석측두,재측장궤상실현심미공경측량적방법,해결료내경적Φ1mm～Φ5mm、심도재40mm이하적심미공내경적측량문제.통과대심미공경측량장치측량불학정도적분석,재95％치신개솔하,장치적측량불학정도위0.6μm,만족측량요구.
