传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2012年
11期
77-80,83
,共5页
李承斌%尤政%张高飞%赵嘉昊
李承斌%尤政%張高飛%趙嘉昊
리승빈%우정%장고비%조가호
微惯性测量单元%阻尼合金%减振%结构设计
微慣性測量單元%阻尼閤金%減振%結構設計
미관성측량단원%조니합금%감진%결구설계
基于谐振式MEMS陀螺的微惯性测量单元(MIMU),在工作时其性能会受到来自内部与外部振动干扰的影响.在分析了影响MIMU性能的振动来源和传统减振方式的不足的基础上,提出一种基于阻尼合金的新型减振方案和相应的MIMU结构设计,并设计了仿真实验分析其力学性能和阻尼衰减特性.结果表明:采用该阻尼合金的方案,MIMU减振结构的各项力学指标均符合要求,并且具有良好的减振抗干扰特性.
基于諧振式MEMS陀螺的微慣性測量單元(MIMU),在工作時其性能會受到來自內部與外部振動榦擾的影響.在分析瞭影響MIMU性能的振動來源和傳統減振方式的不足的基礎上,提齣一種基于阻尼閤金的新型減振方案和相應的MIMU結構設計,併設計瞭倣真實驗分析其力學性能和阻尼衰減特性.結果錶明:採用該阻尼閤金的方案,MIMU減振結構的各項力學指標均符閤要求,併且具有良好的減振抗榦擾特性.
기우해진식MEMS타라적미관성측량단원(MIMU),재공작시기성능회수도래자내부여외부진동간우적영향.재분석료영향MIMU성능적진동래원화전통감진방식적불족적기출상,제출일충기우조니합금적신형감진방안화상응적MIMU결구설계,병설계료방진실험분석기역학성능화조니쇠감특성.결과표명:채용해조니합금적방안,MIMU감진결구적각항역학지표균부합요구,병차구유량호적감진항간우특성.
